東京応化工業（tok）は、半導体やディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

多様性に富み、かつ低価格な高機能スピンコーター、研究向けから量産まで幅広く対応し、特に厚膜プロセスで力を発揮します。

• 100／125／150／200／300 mmウエハ対応

• 75／100／125／150／200 mmウエハ対応

現像温度コントロール方式と積層型現像カップ方式の採用により、厚膜プロセスの課題とされる現像時間の短縮を実現します。

• 100／125／150／200mm ウエハ対応

耐熱性／エッチング特性／めっき耐性の向上を実現した真空UVハードニング装置です。

• 100／125／150／200 mmウエハ対応

現像液の大量使用に伴うコストメリットを追求し、自動希釈／自動調整を行う現像液供給装置です。