半導体製造分野
ICやLSIなどの半導体の微細化に、フォトレジストやフォト
リソグラフィ関連材料・装置による多元的なアプローチで応えます。
多種多様な半導体デバイスにお応えするために、マイクロメートルから最先端のナノメートル領域まで、各種デバイス製造に最適なフォトレジストや関連装置を提供。
塗布装置
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CSシリーズ
多様性に富み、かつ低価格な高機能スピンコーター、研究向けから量産まで幅広く対応し、特に厚膜プロセスで力を発揮します。
- 100／125／150／200／300 mmウエハ対応
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SOD／フォトレジストスピンコーター TR6133UD
- 75／100／125／150／200 mmウエハ対応
現像装置
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CSHシリーズ
真空UVハードニング装置
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TVC-8000シリーズ
薬液供給装置
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現像液自動希釈供給装置 TAS-1000シリーズ
現像液の大量使用に伴うコストメリットを追求し、自動希釈／自動調整を行う現像液供給装置です。