スピンレス製品ラインナップ

TR-Sシリーズは、非スピン方式の採用により、省レジ／省液／省エネ／省スペース化を実現し、COO(コスト・オブ・オーナーシップ)を大幅に実現。　幅広い基盤サイズに対しても高品質の薄膜を形成。
  TR28000S TR45000S TR63000S TR70000S TR90000S TR117000S TR130000S
基板サイズ(mm) 370×470 620×750
730×920		 1100×1300 1200×1300 1500×1850 1950×2250 2200×2500
システム ノンスピンコーターシステム

その他塗布装置

コート＆スピン®

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