ポジレジスト（0.3Pa・S）（3ｃｐ）
| 基板サイズ | 680×880×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR45000S |
| 膜厚 | 1500nm |
| Range | 47.3nm |
| 均一性 | ±1.51% |
| 基板サイズ | 1100×1250×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR63000S |
| 膜厚 | 1500nm |
| Range | 47.8nm |
| 均一性 | ±1.52% |
| 基板サイズ | 1500×1850×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR90000S |
| 膜厚 | 1500nm |
| Range | 50.8nm |
| 均一性 | ±1.66% |
- ポジレジストの用途は主に薄型ディスプレイ内の電気配線をパターニングする際に必要な塗布液です。
- 対象物の大きさが変わっても、高均一な塗布が可能です。
カラーレジスト（0.3〜0.5Pa・S）(3〜5cp)
| 基板サイズ | 630×880×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR45000S |
| 膜厚 | 2000nm |
| Range | 66.2nm |
| 均一性 | ±1.65% |
| 基板サイズ | 1100×1250×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR63000S |
| 膜厚 | 2000nm |
| Range | 66.7nm |
| 均一性 | ±1.66% |
| 基板サイズ | 1500×1850×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR90000S |
| 膜厚 | 2000nm |
| Range | 68.4nm |
| 均一性 | ±1.70% |
- カラーレジストの用途は薄型ディスプレイ内のカラーフィルターを 製造する際に使用する塗布液です。
- カラーフィルタ製造工程は、塗布ムラが製品不良に直結しますので、塗布ムラの出ない事が非常に重要な項目です。
- 対象物の大きさが変わっても、高均一な塗布が可能です。
その他1.柱材
| 基板サイズ | 630×880×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR45000S |
| 膜厚 | 4500nm |
| Range | 162.8nm |
| 均一性 | ±1.86% |
| 基板サイズ | 1100×1250×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR63000S |
| 膜厚 | 2000nm |
| Range | 67.8nm |
| 均一性 | ±1.69% |
- 柱材とは、液晶パネル製造工程に使用される特殊な材料です。
- この工程は、非常に高均一性を求められる工程です。
その他2.SOG
| 基板サイズ | 1100×1250×0.7t(mm) |
|---|---|
| 装置 | TR63000S |
| 膜厚 | 759nm |
| Range | 38.4nm |
| 均一性 | ±2.53% |
- SOGとは、Spin On Glassの略です。
- 非常に乾燥性が高く、固化しやすい材料です。