東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

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お客様とのかかわり

CSR情報

お客様のニーズに合った製品、そして、安心して使っていただける

製品を提供するための取り組みをご紹介します。

製品の信頼性向上に向けて

TOKグループが提供するフォトレジストをはじめとする各種材料のほとんどは、密接なコミュニケーョンをベースとする、お客様との“協働”を通じてつくり上げていく「カスタムメイド」の製品です。TOKグループでは、お客様に感動していただけるような高品質な製品を提供するため、設計開発から、原材料調達、製造、販売に至るすべてのプロセスにおいて、さらなる品質向上を目指した取組みを行っています。

品質の維持向上に向けて

当社グループでは「品質マニュアル」に基づいて、お客様のニーズに応じた製品、安心してご使用いただける製品を提供することで、信頼関係の構築、満足度の向上に努めています。品質・機能面で優れた製品や優れたサービスを提供するため、新規開発品に対し開発初期の段階でリスクアセスメントを行うなど、量産立ち上げと同時に安定した製品品質を確保するための活動を行っています。また、既存製品についても、品質安定性を確認するためのモニタリングを行い、品質異常の早期発見と製造工程の安定化に努めています。

 最先端フォトレジストの量産工場である郡山工場においては、より高度な品質管理、工程管理のため、MES※を導入・運用し、効率的かつ、継続的な品質改善を推進しています。

 各工場はISO9001(品質マネジメントシステムの国際規格)認証を取得済みで、関係する全部門が参画する体制のもと、品質管理に関する各種会議を定期的に開催し、品質向上に向けた、課題解決への意見交換および情報共有など、全社一丸となった品質活動に取り組んでいます。
※MES:Manufacturing Execution System(製造実施システム)の略称。製品の受注から完成に至るまで、生産活動を管理し最適化するための情報を提供するシステムのこと。

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品質方針

高付加価値製品による感動(満足できる性能、コスト、品質)を通じて、世界で信頼される企業グループを目指す。
既存領域の深耕・拡大を図るとともに、新規領域の早期立ち上げを目指す。
1.マーケティングを強化し、真剣に目標設定し、強い危機感を持ち周到に準備して、即実行に移す。
2.グローバルに対応できる人材開発を推進する。
3.ユーザーの声を的確に捉え、迅速に対応できる体制を確立する。
一人ひとりが現状を明確に把握し、危機感をもって挑戦し、それぞれの立場でチャレンジし続けること。

品質の維持向上に向けて

◦最先端の品質体制を整備

最先端の半導体生産工程で使用されているArF液浸フォトレジストは、10nm台の回路線幅を形成し、半導体の微細化・高集積化・省資源化を支えています。最先端の高機能半導体製造工程においては、これまで以上に金属不純物の混入が少ない超高純度の製品が要求されています。

 当社グループではこれら顧客ニーズに合った製品を提供するための体制作りに全社を挙げて取り組んでいます。不純物制御を可能にする技術開発への取組みのうち、特に金属不純物の含有量をppt※レベルに抑えた高純度製品の提供を可能にしています。最新鋭の測定装置や測定技術はもとより、クリーン度の高い生産設備、原材料の金属不純物低減などが高純度製品の提供を支える技術です。
※ppt:parts per trillionの略で1pptは1兆分の1。

不純物の少ない材料を提供するために下記の活動項目を推進しています。
①不純物を検出する従来技術に加えて、適切なモデルに基づいた新規欠陥検出方法の考案
②不純物を持ち込まない・原因物質を出さないための原子レベルでの高分子材料の制御
③欠陥原因物質除去のための濾過技術の向上

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品質の維持向上に向けて

◦最先端の品質体制を整備

コンタミネーション(不純物の混入)の防止に関する設備面での特徴は大きく分けて3つあります。「メタルフリーライン」と「クローズドライン」、それから「製品が曝露する(空気に触れる)可能性のあるところは全てクリーンルーム※に」というコンセプトです。このような設備・システムに加えて、銅鑼工場では製造タンクなどはもとより、タンクローリーが運んできた原料をタンクにつなぐ治具の一つひとつに、品質にこだわった確かなものを採用しています。

 「良い原料と設備を用意し、良い条件、良い環境で使用する」ことが、当社グループにおける「高純度のものづくり」の基本。そこには当社グループがフォトレジスト・メーカーとして培ってきたノウハウの結晶が至る所にちりばめられています。

※クリーンルーム:空気清浄度が確保された部屋。

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「三位一体」の顧客密着型製品開発の流れ
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顧客要望の確認営業担当と開発担当が、ともに顧客ニーズ(要求内容)の把握に努める
改良プランの提案自社開発の新製品・技術による既存品等の改良プランを提案
開発製品化を行う「製造」と協働しつつ、顧客ニーズを満たす試作品を作成
製造試作品の製品化
試作品の提出③や④の試作品を提出
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